De technische realisatie-elementen van beengeleidingssensorchip.

Technische implementatie-elementen:

3. Met het oog hierop hebben de uitvoeringsvormen van de huidige technologie tot doel een beengeleidingssensorchip te verschaffen om het probleem van onstabiele gevoeligheid van de beengeleidingssensorchip in de stand van de techniek op te lossen.

4. De huidige technologie verschaft een sensorchip voor beengeleiding, bestaande uit: een trillend membraan; een massablok aan één kant van het trillende membraan; en een aanslagstructuur voor het begrenzen van de trillingsamplitude van het massablok in een richting evenwijdig aan het trillende membraan. De stopstructuur wordt gebruikt om de amplitude van de horizontale trilling van het massablok te beperken, waardoor de interferentiegraad van de horizontale trilling tot de verticale trilling wordt verminderd, waardoor de verticale trilling van het massablok stabieler is en de gevoeligheid verder wordt verbeterd uniformiteit van de chip.

5. In één uitvoeringsvorm omvat de stopperstructuur een coplanaire eerste stopperlaag en een tweede stopperlaag, de eerste stopperlaag is gelokaliseerd tussen het beweegbare gebied en de massa, en de tweede stopperlaag en het vaste gebied bovenop elkaar geplaatst; er is een eerste opening tussen de eerste stoplaag en de tweede stoplaag.

6. In een uitvoeringsvorm zijn de materialen van de eerste stoplaag en de tweede stoplaag beide polysilicium.

7. In één uitvoeringsvorm is ook een opofferingslaag inbegrepen, en de opofferingslaag omvat een centraal gebied dat met tussenpozen is gerangschikt en een randgebied dat het centrale gebied omgeeft; het middengebied bevindt zich tussen het beweegbare gebied en de eerste aanslaglaag en het randgebied bevindt zich tussen het vaste gebied en het randgebied. Tussen de tweede stoplagen; het centrale gebied en het randgebied hebben een tweede interval, het tweede interval is groter dan het eerste interval en communiceert met het eerste interval.

8. In één uitvoeringsvorm omvat het ook een draagstructuur; de steunstructuur omvat een eerste holte, en de eerste holte omvat een opening; het massablok bevindt zich in de eerste holte, het beweegbare gebied van het trillende membraan bedekt de opening en het vaste gebied is verbonden met de steun. Structurele verbinding.

9. In één uitvoeringsvorm is de verhouding van de eerste afstand tot de lengte van de eerste holte groter dan nul en kleiner dan of gelijk aan 1/10 in een sectie die door de hartlijn van de proefmassa gaat.

10. In één uitvoeringsvorm omvat de aanslagstructuur een eerste holte, bevindt het massablok zich in de eerste holte, en zijn de zijwand van het massablok en de wand van de eerste holte op afstand van elkaar geplaatst.

11. In een uitvoeringsvorm is de verhouding van het minimum interval tussen de zijwand van de massa en de wand van de eerste holte tot de lengte van de eerste holte groter dan nul en kleiner dan of gelijk aan 1/10.

12. In één uitvoeringsvorm omvat de proefmassa een lichaamsgedeelte en ten minste één uitsteeksel op een zijwand van het lichaamsgedeelte.

13. In een uitvoeringsvorm omvat de proefmassa een tweede holte.

14. In een uitvoeringsvorm omvat de eerste holte een opening; het diafragma omvat een beweegbaar gebied en een randgebied dat het beweegbare gebied omringt; het beweegbare gebied bedekt de opening en het vaste gebied is verbonden met de aanslagstructuur.

15. In één uitvoeringsvorm omvat het ook een bodemplaat aan de zijkant van het massablok weg van het trillende membraan; de stopstructuur omvat ten minste één uitsteeksel dat is aangebracht op het oppervlak van de bodemplaat dicht bij het massablok, en het uiteinde van elk uitsteeksel is. Het oppervlak gaat door de massa; in een richting evenwijdig aan het diafragma is er een ruimte tussen de zijwand van elk uitsteeksel en de zijwand van de massa.

16. In één uitvoeringsvorm omvat het verheven materiaal elk van silicium, siliciumoxide en lijm.

Neem contact met ons op:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tel: plus 86-755-23699351

Maffia: plus 8618666663894