Een MEMS micro-hete plaat op basis van laterale composiet diëlektrische film en de productiemethode en technische realisatie-elementen

Technische implementatie-elementen:

4. Met het oog op de bovenstaande technische problemen verschaft de onderhavige uitvinding een mems micro-hete plaat op basis van een transversale samengestelde diëlektrische film en een vervaardigingswerkwijze daarvan.

5. Het doel van de onderhavige uitvinding is om een ​​micro-hete plaat van het platte type te verschaffen met een laag lateraal warmtegeleidingsverlies, een hoog energieverbruik van de micro-hete plaat en een lage mechanische vervorming veroorzaakt door thermische spanning, die voldoet aan de vereisten zoals als laag stroomverbruik, lage vervorming, hoge stabiliteit en betrouwbaarheidseisen.

6. het technische schema dat de onderhavige uitvinding het bovengenoemde technische probleem oplost is als volgt:

7. Een mems-micro-hete plaat op basis van een transversale composiet diëlektrische film, waarbij de micro-hete plaat een samengestelde diëlektrische laag, een op silicium gebaseerd substraat, een isolerende ondersteuningslaag, een verwarmingselektrode, een signaalelektrode en een kussen omvat, en een etsgebied aan de achterkant;

8. Het op silicium gebaseerde substraat is een basis voor het vervaardigen van een micro-hete plaat;

9. De isolatiesteunlaag bevindt zich boven het op silicium gebaseerde substraat, dat wordt gebruikt voor isolatie, het verminderen van warmteverlies en het bieden van ondersteuning voor het elektrodeverwarmingsgebied en het signaalmeetgebied;

10. De verwarmingselektrode is boven de isolatiesteunlaag aangebracht en de verwarmingselektrode genereert een verwarmingsgebied om de vereiste werktemperatuur voor de micro-hete plaat te verschaffen;

Neem contact met ons op:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tel: plus 86-755-23699351

Maffia: plus 8618666663894